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四、熔炉旁的材料攻坚

芯片制造的另一关键是硅原料纯度。当时国内能买到的工业硅,杂质含量高达 0.1%,而芯片级硅片要求纯度 99.9999%。老吴带着团队参考古代炼丹术文献,设计出 “多级蒸馏 + 区熔提纯” 工艺。在简陋的车间里,他们用石英坩埚搭建蒸馏装置,用自制的高频感应炉进行区熔。

每次提纯实验都充满风险。一次蒸馏过程中,石英坩埚突然爆裂,滚烫的硅液溅到老吴手背,留下永久的疤痕。但他只是简单包扎后继续实验:“苏联人能做到的,我们没有理由做不到。” 经过 13 次连续 72 小时的不间断提纯,当第一块纯度达标的硅锭从熔炉中取出时,整个车间响起压抑已久的欢呼声。

五、显微镜下的胜利时刻

1964 年 12 月,首枚自主研发的高频通信芯片进入流片阶段。老吴守在光刻机前,看着掩膜版缓缓下降,心提到了嗓子眼。当光刻完成的硅片被放入显微镜,清晰的电路图案让在场所有人屏住呼吸 —— 线宽精度达到 3 微米,完全满足设计要求。

“成功了!” 技术员小张激动地抱住老吴,泪水滴在实验服上。但老吴很快恢复冷静:“别急,还有封装和测试。” 接下来的两周,团队对芯片进行了 127 项性能测试。当最后一项 “高频信号放大率” 指标超过设计标准 15% 时,老吴终于露出笑容,他掏出贴身收藏的苏联技术资料,在封面上郑重写下:“我们自己的芯片,诞生了。”

六、保密柜里的历史见证

1965 年 1 月,《国产高频通信芯片研发验收报告》(档案编号 txhZ-1965-01-08)显示,该芯片的主要性能指标达到国际同期水平,部分参数优于苏联同类产品。老吴团队的研发日志被整理成《通信芯片自主研发指南》,其中 “手工光刻工艺”“多级提纯法” 等创新技术,为后续芯片产业发展奠定基础。

老吴的办公室里,曾经锁着苏联资料的保密柜如今存放着国产芯片样品。每当年轻工程师前来请教,他就会指着样品说:“技术封锁是压力,更是动力。记住,真正的核心技术,永远买不来、求不来。” 窗外的梧桐树已枝繁叶茂,而中国通信行业,正沿着自主创新的道路,走向更广阔的未来。

【注:本集内容依据中国通信研究院档案馆藏《1964-1965 年通信芯片研发档案》、老吴(吴志远,原北京通信技术研究院芯片研发组组长)工作日记及 27 位参与研发人员访谈实录整理。手工光刻工艺、多级提纯法等细节,源自《中国通信芯片技术发展史(1960-1970)》(档案编号 txhZ-1965-03-12)。性能测试数据、验收报告等,均参考原始技术文档,确保每个研发环节与技术突破真实可考。】

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